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第100、101章 极紫外光刻技术（为饢龘及订阅加更）（第2页）

除此之外，便是光刻机的相关知识。

光刻机也在超精密加工技术里，何星舟去年解锁了超精密加工的切削技术，研发出了龙腾系列机床。

这次得解锁“超精密特种加工技术”，需要能量点十万点。

“制造光刻机，还需要光刻胶。”光刻胶又叫光致抗蚀剂，是一种耐蚀剂刻薄膜材料，半导体加工时需要这种材料。

光刻胶这东西，也在白鹰等的列表中。

“紫外光刻胶，适用于436纳米-365纳米光刻技术，解锁需要一万单位能源。”

“深紫外光刻胶，适用于248纳米-193纳米光刻，解锁需要三万单位能源。”

“极紫外光刻胶，常用于11纳米-14纳米光刻，解锁需要五万单位能源。”

“辐射线光刻胶，用于更高分辨率光刻，需解锁上述所有光刻胶后方能解锁。”

何星舟要用到的，便是极紫外光刻胶，目前世界上最先进的光刻机，也就是极紫外光刻机，它可以制造出3纳米制程的硅基芯片。

又是八万单位能源，何星舟将光刻胶材料技术也解锁掉。

最后，便是最重要的光刻机制造技术了。

光刻机，号称是目前人类工业技术的巅峰作品！以光为刀，在纳米级的尺度上进行雕刻！

世界上最先进的EUV（极紫外）光刻机，拥有超过十万个零件，如果要运输一辆光刻机，需要准备20辆卡车，三架货机，40个集装箱，才能完成运输！

它涉及的种种技术，几乎涵盖所有的工业领域，曾有专家断言，没有一个国家能够独立制造出光刻机！

而在白鹰七方的列表中，对光刻机所有关键的材料、零部件，全部给打了X！就是要全方位压制神州的光刻机研发和制造！

而决定光刻机性能的主要原因，便是“光刀”，波长越短的光刀，就能雕刻更精密的芯片。

紫外线、深紫外线、极紫外线，目前全世界只有风车国的阿斯麦公司能够制造出极紫外线光刻机。